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產品詳情
  • 產品名稱:日本SIMCO思美高除靜電離子發生器4214

  • 產品型號:
  • 產品廠商:日本SIMCO
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簡單介紹:
4214 型離子發生器即使在高純度 N2 環境下也支持“擴展 ISO 1 級,10nm”的高清潔度,并實現出色的離子平衡。
詳情介紹:

特征

超低顆粒負載 采用單晶硅電極。
獨特的不向外界釋放顆粒的清潔機制,確保長期穩定的清潔度
采用智能控制電路,無需任何調節
內置傳感器持續監控離子產生,實現可靠的靜電消除
控制器,電源 內置集成緊湊型設計
自動高壓關斷功能可在低流量時保護產品
非常適合先進的半導體制造工藝和其他超低顆粒應用
 24V 直流驅動

規格

輸入電壓 24V DC+/-5% 6W(典型值)
離子平衡 <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接
靜電消除時間 <10sec 150mm 距離 40LPM 無管道連接
+/-1kv → +/- 100v 通過充電板監視器
離子發生方式 電暈放電型 高頻交流型
清潔度 ISO Class1,0.1 微米
“擴展 ISO Class1,10nm”*
電極 單晶硅可替代
兼容的吹掃氣體 氮氣 > 99.998%
流量 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa)
*大吹掃壓力 207Kpa(=100LPM流量)
*高氣體溫度 60℃
N2 吹掃連接 Swagelok3/8" 外徑管道
電離 N2 連接
世偉洛克 1/2"OD 管道連接,帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度限制 15~60℃
信號輸出 開/關觸點報警和離子滴輸出
尺寸 長152.4mm x 寬72.4mm x 深32mm
(不包括管道)
重量 640克
外部的 不銹鋼
安裝方法 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm
擴展的 ISO 1 級 10nm
是 ION Systems 獨立確定的清潔度定義,以支持微小顆粒管理。ISO14644-1定義*小粒徑為100nm。擴展ISO Class 1,10nm采用與ISO14644-1相同的計算允許顆粒數的公式,對于直徑10nm以上的顆粒,允許顆粒數為1200pc/m3(34 pc/ft3)。
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