主營產品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產品詳情
簡單介紹:
4214 型離子發生器即使在高純度 N2 環境下也支持“擴展 ISO 1 級,10nm”的高清潔度,并實現出色的離子平衡。
詳情介紹:
特征
■超低顆粒負載 采用單晶硅電極。
■獨特的不向外界釋放顆粒的清潔機制,確保長期穩定的清潔度
■采用智能控制電路,無需任何調節
■內置傳感器持續監控離子產生,實現可靠的靜電消除
■控制器,電源 內置集成緊湊型設計
■自動高壓關斷功能可在低流量時保護產品
■非常適合先進的半導體制造工藝和其他超低顆粒應用
■ 24V 直流驅動
規格
| 輸入電壓 | 24V DC+/-5% 6W(典型值) |
|---|---|
| 離子平衡 | <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接 |
| 靜電消除時間 |
<10sec 150mm 距離 40LPM 無管道連接 +/-1kv → +/- 100v 通過充電板監視器 |
| 離子發生方式 | 電暈放電型 高頻交流型 |
| 清潔度 |
ISO Class1,0.1 微米 “擴展 ISO Class1,10nm”* |
| 電極 | 單晶硅可替代 |
| 兼容的吹掃氣體 | 氮氣 > 99.998% |
| 流量 | 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa) |
| *大吹掃壓力 | 207Kpa(=100LPM流量) |
| *高氣體溫度 | 60℃ |
| N2 吹掃連接 | Swagelok3/8" 外徑管道 |
| 電離 N2 連接 |
世偉洛克 1/2"OD 管道連接,帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC |
| 工作溫度限制 | 15~60℃ |
| 信號輸出 | 開/關觸點報警和離子滴輸出 |
| 尺寸 |
長152.4mm x 寬72.4mm x 深32mm (不包括管道) |
| 重量 | 640克 |
| 外部的 | 不銹鋼 |
| 安裝方法 | 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm |







