主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
利用顯微鏡分光膜厚儀OPTM系列的高精度和微小光斑，它提供在線膜厚信息，例如晶圓圖案化后的微小區(qū)域測(cè)量。
銷(xiāo)售中心-重慶內(nèi)藤naitokikai
詳情介紹：
產(chǎn)品信息
特征
- 膜厚測(cè)量范圍 1 nm 至 92 μm（SiO 2換算）
- 薄膜厚度值的高重復(fù)性
- 每點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量
- 圖案可瞄準(zhǔn)微小點(diǎn)（*小Φ3μm）
- 適用于圖案化晶圓的膜厚測(cè)繪
- 可以獲取用于圖案對(duì)齊的圖像
設(shè)備內(nèi)置鏡像
測(cè)量數(shù)據(jù)圖像
測(cè)量點(diǎn)周?chē)膱D像
自適應(yīng)過(guò)程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
沉積過(guò)程
這樣的
規(guī)格
